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申请/专利权人：郑州科探仪器设备有限公司
摘要：本发明涉及一种真空蒸镀设备，包括壳体，壳体上设置真空腔体底座和真空腔体罩，真空腔体底座和真空腔体罩围成真空腔体，真空腔体座上设有安装架，安装架上设有蒸镀台，真空腔体座上设有能够转动的遮挡板，真空腔体座上设置有转轴，遮挡板包括上下贴合设置的上挡板和下挡板，各挡板转动均转动安装于转轴上且各挡板与转轴之间依靠摩擦力能够随转轴同步转动，安装架上设置有与各挡板限位挡止配合的限位结构，上、下挡板具有转动后相互配合对蒸镀坩埚进行遮挡的遮挡位，上、下挡板还具有反向转动后避开下方蒸镀坩埚的让开位。与现有技术相比，上述结构的蒸镀设备可以减小真空腔体的体积，进而减小整个蒸镀设备的体积与重量，节省了生产成本。
主权项：1.一种真空蒸镀设备，包括壳体，壳体上设置真空腔体底座和真空腔体罩，真空腔体底座和真空腔体罩围成真空腔体，真空腔体座上设置有安装架，安装架上设置有供蒸镀件安装的蒸镀台，真空腔体座上还设置有蒸镀坩埚和对蒸镀坩埚加热的加热结构，真空腔体座上于蒸镀坩埚与蒸镀台之间设置有能够转动的遮挡板，其特征在于：所述真空腔体座上设置有转轴，遮挡板包括上下贴合设置的上挡板和下挡板，各挡板均转动安装于转轴上且各挡板与转轴之间依靠摩擦力能够随转轴同步转动，安装架上设置有与各挡板限位挡止配合的限位结构，上、下挡板具有转动后相互配合对蒸镀坩埚进行遮挡的遮挡位，上、下挡板还具有反向转动后避开下方蒸镀坩埚的让开位；所述限位结构包括设置于安装架上的限位挡板，下挡板上设有其位于遮挡位时与限位挡板限位挡止配合的第一凸起，下挡板上还设置有其位于让开位时与限位挡板限位挡止配合的第二凸起，上挡板上设有其位于遮挡位时与限位挡板限位挡止配合的第三凸起，上挡板上还设置有其位于让开位时与限位挡板限位挡止配合的第四凸起；所述蒸镀台转动安装于安装架上，转轴上设置有第一齿轮，蒸镀台上设置有与第一齿轮啮合传动的第二齿轮以带动蒸镀台转动；所述转轴上同轴线传动安装有传动件，传动件具有供各挡板转动安装的安装段和形成上述第一齿轮的齿轮段。
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权利要求：
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