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一种感光性树脂组合物、感光性树脂膜及图案形成方法 

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申请/专利权人:武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司

摘要:本发明公开一种感光性树脂组合物、感光性树脂膜及图案形成方法。该感光性树脂组合物包括碱溶性树脂、光产酸剂和热交联剂,本发明的碱溶性树脂主要包括通式a所示的碱溶性聚酰亚胺前体,该碱溶性树脂通过加热或者催化剂催化可形成具有酰亚胺环或其他环状结构的聚合物,与具有通式c所示的聚合物作为热交联剂配合时,能够在提高灵敏度的同时,提高固化后的膜的耐热性及耐化学品性,且具有低应力性等优异特性。

主权项:1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含A碱溶性树脂,所述碱溶性树脂由式a所示的重复单元组成; 式a中,R11和R12表示碳原子数2-40的二价-六价的有机基团;R1和R2表示氢原子或碳原子数为1-20的有机基团;m表示10-100000的范围内的整数,p、q、h、g表示满足0≤p+q+h+g≤4的整数;所述式a的R11和或R12包括含砜基取代的结构,所述含砜基取代的结构单元摩尔量占式a的结构单元总摩尔量的5-20%;B光产酸剂;C热交联剂,所述热交联剂包含式c所示的重复单元: 式c中,R3表示氢原子、或者碳原子数1-4的一价有机基团,R4为R4'表示碳原子数为0-9的二价有机基团;n表示4-200的范围内的整数;所述热交联剂重均分子量为1000-20000;以碱溶性树脂为100质量份计,所述热交联剂为1-20质量份,所述光产酸剂为3-40质量份。

全文数据:

权利要求:

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