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申请/专利权人：默克专利股份有限公司
摘要：本发明涉及组合物，其基本由以下物质组成：具有结构I的烷基苯磺酸其中n为0‑16的整数；溶剂，其选自由具有结构II的溶剂其中R选自‑‑O‑CH2‑CH2‑n’‑OH、‑OH和‑O‑C＝O‑CH3，其中n’等于1、2、3或4、具有结构III的溶剂、具有结构IV的溶剂和具有结构V的溶剂组成的组，或选自该组的至少两种溶剂的溶剂混合物。在另一个实施方案中，该组合物还额外地包含表面活性剂组分。本发明还涉及使用这些组合物从基底去除图案化的光致抗蚀剂。
主权项：1.光致抗蚀剂去除剂组合物，其由以下物质组成：具有结构I的烷基苯磺酸，其中n为0-16的整数； 和溶剂，所述溶剂选自由具有结构II的溶剂，其中R选自--O-CH2-CH2-n’-OH、-OH和-O-C＝O-CH3，其中n’等于1、2、3或4，具有结构III的溶剂和具有结构V的溶剂组成的组，或选自该组的至少两种溶剂的溶剂混合物；
全文数据：
权利要求：
百度查询： 默克专利股份有限公司 光致抗蚀剂去除剂组合物
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