龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
主权项：1.一种信息处理装置，其特征在于，具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，所述存储装置储存属于设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件与该设定群组的群组识别信息的组合，所述共同条件是使用通过该信息处理装置或其他信息处理装置从属于真空泵的该设定群组的真空泵的状态量数据检测出的第一异常数据的发生倾向而由该信息处理装置或其他信息处理装置决定的，所述设定群组是制造编号相同的真空泵的群组、连接于制造编号相同的半导体制造装置的真空泵的群组、或在相同制程中使用过的真空泵的群组，所述共同条件是表示在属于所述设定群组的所述真空泵的状态量数据中检测出的异常的容许范围随时间变化的数据；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的所述共同条件与检测出的所述第二异常数据的发生倾向进行比较，表示所述异常的容许范围随时间变化的数据是表示每单位时间特定的状态量离开设定范围的次数的容许范围随时间变化的数据，所述比较部在每个对应的时刻对表示所述容许范围随时间变化的数据与从所述运转中的真空泵的状态量数据检测出的每单位时间所述特定的状态量离开设定范围的次数的时间序列数据进行比较，决定从设定范围偏离的偏离程度，并根据该偏离程度将运转中的真空泵的状态划分成正常状态、需要注意状态、需要更换状态来作判定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号