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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种抛光装置，包括：支撑件，被配置为在平面中接收和保持基板；抛光垫，固定到旋转滚筒的圆柱形表面；第一致动器，用于绕着平行于平面的第一轴旋转该滚筒；第二致动器，用于使旋转滚筒上的抛光垫与基板接触；以及端口，用于将抛光液分配到抛光垫与基板之间的界面。
主权项：1.一种抛光装置，包括：工作台，所述工作台被配置为在平面中接收和保持基板；抛光垫，所述抛光垫固定到旋转滚筒的圆柱形表面；第一致动器，所述第一致动器用于使所述旋转滚筒绕着平行于所述平面的主轴旋转；第二致动器，所述第二致动器用于使所述旋转滚筒上的所述抛光垫仅和与所述基板的边缘相邻的环形区域接触；以及端口，所述端口用于将抛光液分配到所述抛光垫与所述基板之间的界面；原位监测系统，所述原位监测系统用于监测所述环形区域中的所述基板的厚度并生成所述环形区域的第一边缘厚度轮廓和第二边缘厚度轮廓；以及控制器，所述控制器用于：将所述第一边缘厚度轮廓与所述第二边缘厚度轮廓进行比较以确定边缘厚度差，使所述工作台旋转以使得所述基板绕垂直于所述工作台并对准所述基板的中心点的第一轴旋转；使所述第二致动器通过仅沿着从所述第一轴延伸到所述旋转滚筒的中心点的线段调整所述旋转滚筒的所述中心点的位置来使所述抛光垫与所述基板的前面的所述环形区域接触，其中所述旋转滚筒的所述主轴与所述抛光垫平行并且其中所述抛光垫的端部与所述基板的边缘径向向内间隔开；使所述端口供应所述抛光液；使所述第一致动器在所述抛光垫与所述基板之间生成相对运动以便抛光所述基板的所述环形区域的抛光不足区域而不从所述基板的所述环形区域之外的所述前面的至少一部分去除材料，所述相对运动至少包括在将所述旋转滚筒按压抵靠所述基板的所述前面的所述环形区域的同时绕着所述主轴旋转所述旋转滚筒；以及当所述边缘厚度差低于阈值时使得所述第二致动器使所述抛光垫脱离与所述基板接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于位置特定晶片抛光的辊
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