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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波工业技术研究院
摘要：本发明公开了一种Ti3AlC2MAX相涂层的低温成相制备方法，其特征在于，包括以Ti‑Al复合靶为溅射靶材，碳氢气体为反应气源，采用高功率脉冲磁控溅射技术，以500‑1000Hz的频率，5‑10％的占空比，100‑200μs的短脉冲对基体表面溅射得到TiAlx‑C涂层；热处理所述的TiAlx‑C涂层得到Ti3AlC2MAX相涂层，所述的热处理温度为600‑700℃。该方法能够在较低温度下制备Ti3AlC2MAX相涂层。本发明还提供了采用该方法制得Ti‑Al‑CMAX相涂层。
主权项：1.一种Ti3AlC2MAX相涂层的低温成相制备方法，其特征在于，包括：1以Ti-Al复合靶为溅射靶材，碳氢气体为反应气源，采用高功率脉冲磁控溅射技术，以500-1000Hz的频率，5-10％的占空比，100-200μs的短脉冲对基体表面溅射得到TiAlx-C涂层；2热处理所述的TiAlx-C涂层得到Ti3AlC2MAX相涂层，所述的热处理温度为600-700℃；所述的Ti-Al复合靶的Ti-Al元素比为2:1.2～1.5；在所述的对基体表面溅射得到TiAlx-C涂层之前，对基体进行等离子体辉光刻蚀处理；在所述的对基体进行等离子体辉光刻蚀处理之后，关闭所述的反应气源，开起所述的Ti-Al复合靶，在所述的基体表面溅射一层过渡层；所述的过渡层为TiAl间化合物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 宁波工业技术研究院 一种Ti-Al-C MAX相涂层及其低温成相制备方法
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