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申请/专利权人：有研稀土新材料股份有限公司;有研稀土高技术有限公司
摘要：一种稀土旋转靶材及其制备方法与应用，所述方法包括：将背管和粉末状原料放入模具内，形成中心为背管四周为原料层的复合结构，其中，所述原料包括稀土金属单质和或稀土合金，所述原料层包括第一原料层和第二原料层，所述第一原料层位于所述背管和第二原料层之间，所述第一原料层中的原料粒径小于所述第二原料层中的原料粒径；对所述复合结构进行冷热等静压成型，烧结冷却过程控制背管与原料层的温度差，得到稀土旋转靶材。该方法将靶管制备与焊接两个步骤合二为一，在稀土旋转靶管制备过程中同时实现了靶管与背管的焊接，不仅缩短了稀土金属及合金旋转靶材的制备流程，提高了制备效率，还节约了铟等焊料，解决了焊合率低和靶材后期开焊问题。
主权项：1.一种稀土旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括：将背管和粉末状原料放入模具内，形成中心为背管四周为原料层的复合结构，其中，所述原料包括稀土金属单质和或稀土合金，所述原料层包括第一原料层和第二原料层，所述第一原料层位于所述背管和第二原料层之间，所述第一原料层中的原料粒径小于所述第二原料层中的原料粒径；对所述复合结构进行冷等静压工艺或热等静压成型，得到稀土旋转靶材，其中，所述冷等静压工艺包括冷等静压成型得到坯料并对所述坯料进行烧结，在所述冷等静压工艺和热等静压成型的冷却过程中控制背管与原料层保持一定的温度差，得到稀土旋转靶材；其中，冷却过程中控制背管与原料层保持一定的温度差，具体包括：冷却过程中，控制背管与原料层的温度差TX-Td＝50～300℃，其中Tx为背管与原料层二者中膨胀系数较小者的温度，Td为背管与原料层二者中膨胀系数较大者的温度。
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