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申请/专利权人：安徽维纳物联科技有限公司
摘要：本发明涉及MEMS气体传感器技术领域，具体来说是一种超灵敏MEMSVOCs气体传感器的制备方法及使用的微型移印装置，包括以下步骤：S1、四氯化锡、硝酸盐、去离子水、分散剂制备气敏材料粉料；S2、气敏材料粉料、硅溶胶、聚酰胺树脂、有机溶剂制备气敏材料浆料；S3、气敏材料浆料转印到MEMS的叉指电极上，烘烤形成气敏薄膜；S4、器件退火处理；S5、金丝球焊、陶瓷封装。本申请首先制备气敏材料粉料和气敏材料浆料；将气敏材料浆料通过移印工艺转移到MEMS基片的叉指电极上；通过退火处理、金丝球焊、陶瓷封装制得MEMSVOCs气体传感器，敏感材料有着较薄的厚度，并与叉指电极结合牢固，具备超灵敏的气敏特性，是一种应用性强、适合大规模批量生产的超灵敏MEMSVOCs气体传感器的方法。
主权项：1.一种超灵敏MEMSVOCs气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下具体步骤：S1、制备气敏材料粉料将四氯化锡、硝酸盐、去离子水混合并搅拌，至完全溶解后，将上述混合溶液与有机溶剂均匀混合形成混合液，加入相对上述混合液总质量0.5-2%的分散剂并搅拌均匀；然后将得到的分散液转移到反应釜中60-100℃静置6-18h；最后将混合物用乙醇离心洗涤，并置于烘箱中干燥，最后得到气敏材料粉料；S2、制备气敏材料浆料将上述制备的气敏材料粉料：硅溶胶：聚酰胺树脂：有机溶剂混合均匀，形成悬浊液；然后对悬浊液进行砂磨处理，制得气敏材料浆料；S3、移印印刷叉指电极使用微型移印装置将制得的气敏材料浆料转移到MEMS微加热器基片的叉指电极上，并将叉指电极完全覆盖；移印完成后置于烘箱中烘烤，以此在MEMS微加热器基片上形成气敏薄膜；S4、器件退火处理将印刷好敏感材料浆料的MEMS基片置于马弗炉中退火，然后进行切割，制得MEMS传感芯片；S5、金丝球焊、陶瓷封装将制得的MEMS传感芯片进行金丝球焊、陶瓷封装，最后制得MEMSVOCs气体传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽维纳物联科技有限公司 一种超灵敏MEMS VOCs气体传感器的制备方法及使用的微型移印装置
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