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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种能够长期使用的狭缝喷嘴、狭缝喷嘴的调整方法及基板处理装置。本发明包括：块体，具有能够安装于狭缝喷嘴的第二本体部的调整本体部、与从调整本体部向吐出口侧突出设置的突出部，通过调整本体部向第二本体部的安装，突出部相对于第二本体部在狭缝喷嘴的第一本体部的相反侧，在相向方向上隔开第二间隙与第二本体部相向；以及间隙调整部，执行扩大动作与狭小动作中的至少其中一者来调整开口尺寸，所述扩大动作是通过第二间隙的减少而使第二本体部在吐出口的附近从第一本体部分离来扩大开口尺寸，所述狭小动作是通过第二间隙的增大而使第二本体部在吐出口的附近接近第一本体部来缩窄开口尺寸。
主权项：1.一种狭缝喷嘴，其包括：喷嘴本体，通过第一本体部与第二本体部隔开第一间隙相互相向，而形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使所述第二本体部向所述第一本体部与所述第二本体部的相向方向位移来调整所述吐出口的开口尺寸，所述调整机构包括：块体，具有能够安装于所述第二本体部的调整本体部、与从所述调整本体部向吐出口侧突出设置的突出部，通过所述调整本体部向所述第二本体部的安装，所述突出部相对于所述第二本体部在所述第一本体部的相反侧，在所述相向方向上隔开第二间隙与所述第二本体部相向；以及间隙调整部，至少执行狭小动作来调整所述开口尺寸，所述狭小动作是通过所述第二间隙的增大而使所述第二本体部在所述吐出口的附近接近所述第一本体部来缩窄所述开口尺寸，所述间隙调整部具有用于执行所述狭小动作的狭小调整机构，所述突出部使相对于与所述第二本体部相向的相向面而设置于所述第二本体部的相反侧的凹部或贯通孔作为用于设置所述狭小调整机构的狭小设置部位发挥功能，所述狭小调整机构具有沿所述相向方向延伸设置的螺杆、和与所述螺杆的中央部螺合的螺母，在所述螺杆的前端部与所述第二本体部卡合并且所述螺杆的后端部插入至所述狭小设置部位的状态下，保持使所述螺母抵接于所述突出部，同时通过所述螺母的旋转而使所述螺杆向所述第二本体部侧位移，由此将所述第二本体部推向所述第一本体部侧而缩窄所述开口尺寸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 狭缝喷嘴、狭缝喷嘴的调整方法及基板处理装置
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