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一种单晶炉热场加热器 

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申请/专利权人:双良硅材料(包头)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种单晶炉热场加热器,包括:发热圈,发热圈为圆环构型,发热圈在轴向上内径相等,发热圈第二端位置的壁厚大于第一端位置的壁厚,发热圈的侧壁上间隔设置有若干道逃逸槽,单个逃逸槽由发热圈的一端部向另一端延伸;脚板与发热圈的第二端装配连接以支撑发热圈。本实用新型提供的单晶炉热场加热器,将发热圈设计为轴向方向上的非对称结构,以在加热圈对坩埚进行加热时,通过壁厚较薄的发热圈第一端对坩埚进行强化加热,以优化加热圈对熔硅的加热效果,增加加热圈对熔硅的辐射热量从而增加自由液面的氧挥发,减少进入硅棒的氧杂质的含量。

主权项:1.一种单晶炉热场加热器,其特征在于,包括:发热圈10,所述发热圈10为圆环构型,所述发热圈10在轴向方向上内径相等,且所述发热圈10的第二端120位置的壁厚大于其第一端110位置的壁厚,所述发热圈10的侧壁上间隔设置有若干道逃逸槽,单个所述逃逸槽由所述发热圈10的一端部向另一端延伸;脚板20,与所述发热圈10的第二端120装配连接以支撑所述发热圈10。

全文数据:

权利要求:

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