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申请/专利权人：新创电子技术(东莞)有限公司
摘要：本实用新型公开了半导体蚀刻机用蚀刻头结构，涉及半导体蚀刻机技术领域，包括安装盘和蚀刻组件；安装盘：上端固定有固定柱，所述固定柱的圆周面上安装有电刷滑环，所述安装盘的上端开设有第一环形槽，所述环形槽的内部固定有齿轮环，所述固定柱的上端安装有注液组件，所述电刷滑环的输入端电连接外部的控制开关组的输出端；蚀刻组件：包含移动架、导向环、连接板、蚀刻喷头和第二电机，所述安装盘的圆周面上开设有第二缓冲槽，所述第二缓冲槽的内部转动连接有导向环，所述导向环的圆周面上固定有两个相对应的移动架，所述移动架的侧面上固定有两个相对应的连接板，能够在蚀刻对蚀刻喷头的角度进行调整。
主权项：1.半导体蚀刻机用蚀刻头结构，其特征在于：包括安装盘1和蚀刻组件5；安装盘1：上端固定有固定柱2，所述固定柱2的圆周面上安装有电刷滑环3，所述安装盘1的上端开设有第一环形槽，所述环形槽的内部固定有齿轮环4，所述固定柱2的上端安装有注液组件7，所述电刷滑环3的输入端电连接外部的控制开关组的输出端；蚀刻组件5：包含移动架51、导向环52、连接板55、蚀刻喷头56和第二电机57，所述安装盘1的圆周面上开设有第二缓冲槽，所述第二缓冲槽的内部转动连接有导向环52，所述导向环52的圆周面上固定有两个相对应的移动架51，所述移动架51的侧面上固定有两个相对应的连接板55，两个连接板55之间转动连接有蚀刻喷头56，前侧的连接板55的前侧安装有第二电机57，所述第二电机57的输出轴固定在蚀刻喷头56的圆周面上，所述和第二电机57的输入端电连接电刷滑环3的输出端。
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权利要求：
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