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申请/专利权人：石家庄帕威半导体科技有限公司
摘要：本实用新型是一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，涉及尾气输送技术领域，包括止回管，止回管的两端分别连接有进气管和出气管，所述止回管中设置有中空管，中空管的一端通过闭合壁与弹簧相连接，中空管设置在止回管的进气腔中，闭合壁与进气腔的一端相贴合，中空管靠近闭合壁的一端上设置有多个出气孔，在需要对尾气进行运输时，尾气通过推动闭合壁对弹簧进行挤压，从而让闭合壁与进气腔分离，中空管上的出气孔移出进气腔中，尾气通过出气孔进入止回腔中，在尾气输送完成后，弹簧推动中空管进入到进气腔，使得闭合壁与进气腔的一端相贴合，从而阻止尾气回流到进气腔中，实现自动闭合，避免操作失误导致尾气回流现象的出现。
主权项：1.一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，包括止回管1，其特征在于：所述止回管1的两端分别连接有进气管2和出气管3，所述止回管1靠近进气管2的一端内部设置有进气腔11，所述进气腔11中设置有中空管111，所述中空管111远离进气管2的一端上设置有闭合壁113，所述中空管111通过闭合壁113与弹簧12相连接，所述弹簧12设置在连接壁13的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 石家庄帕威半导体科技有限公司 一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置
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