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申请/专利权人：宏茂微电子(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及芯片技术领域，具体地说是一种非接触式压板。一种非接触式压板，包括压板支架，所述的压板支架左右两端分别设有安装槽，左右两端的安装槽内分别连接若干吹气杆的左右两端，吹气杆上端连接进气管，进气管另一端通过调节阀连接气源，吹气杆下端均匀设有若干吹气口。同现有技术相比，安装方便，不直接接触基板表面，可根据基板翘曲情况，调节吹气位置及吹气值大小。
主权项：1.一种非接触式压板，包括压板支架，其特征在于：所述的压板支架（1）左右两端分别设有安装槽（2），左右两端的安装槽（2）内分别连接若干吹气杆（3）的左右两端，吹气杆（3）上端连接进气管（4），进气管（4）另一端通过调节阀（5）连接气源，吹气杆（3）下端均匀设有若干吹气口（6）。
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百度查询： 宏茂微电子(上海)有限公司 一种非接触式压板
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