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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了一种柔性电极及其制备方法、介电弹性体驱动器及其制备方法。所述柔性电极的制备方法，包括：1）将导电材料分散液进行稀释；2）将稀释后的所述导电材料分散液覆盖在滤纸上，并在所述滤纸下方设置掩膜进行沉积，获得图案化的柔性电极；其中，所述掩膜包括镂空部分和遮盖部分，所述柔性电极的形状和图案与所述镂空部分一致。该方法通过真空抽滤进行制备，无需使用传统的图案化掩膜，并且转印中不使用掩膜，可用于在涂覆有介电弹性体的基底上制造大规模、均一的柔性电极，例如碳纳米管电极。该方法还避免了在过滤纸上剩余碳纳米管，从而节省原材料并简化了后处理步骤。
主权项：1.一种柔性电极的制备方法，其特征在于，包括：1）将导电材料分散液进行稀释；2）将稀释后的所述导电材料分散液覆盖在滤纸上，并在所述滤纸下方设置掩膜进行沉积，获得图案化的柔性电极；其中，所述掩膜包括镂空部分和遮盖部分，所述柔性电极的形状和图案与所述镂空部分一致。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 柔性电极及其制备方法、介电弹性体驱动器及其制备方法
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