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申请/专利权人：博洋微电子(铜陵)有限公司
摘要：本文提出了一种银蚀刻液及其制备方法通过CNN来发现优化的银蚀刻液配方的方法。首先，通过收集已有的银蚀刻液配方和对应的扫描电子显微镜图像，获取了各成分的化学名称和含量，进行CNN模型训练。训练完成后，该模型能够预测银析出量较少的银蚀刻液配方，该配方具体包括磷酸、柠檬酸、硝酸、硝酸钾、丙酸、EDTA、十二烷基苯磺酸纳和氯化铵等多种组分的优选比例，根据预测结果进行实验验证和优选，高效快速得到满足银析出量较少的银蚀刻液。
主权项：1.一种银蚀刻液，其特征在于，所述银蚀刻液配方通过CNN获得，其具体步骤为：S1银蚀刻液训练数据收集及处理；S2训练所述银蚀刻液CNN模型；S3利用训练好的银蚀刻液银蚀刻液CNN模型预测得到银析出量较少的银蚀刻液配方，所述配方包括按质量百分比计的以下组分，磷酸：30-45％，柠檬酸：5-15％，硝酸：5-20％，硝酸钾：5-10％，丙酸：3-8％，EDTA：0.1-1％，十二烷基苯磺酸纳：0.05-0.5％，氯化铵：0.5％-2％，余量为纯水；S4根据在S3中预测得到的银蚀刻液配方，进行实验优选得到优选的成分配比。
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百度查询： 博洋微电子(铜陵)有限公司 一种银蚀刻液及其制备方法
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