龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于靶材技术领域，公开了一种氧化物靶材及其制备方法，包括如下步骤：混合混合氧化铟、氧化铈、氧化钛、氧化钽、分散剂、粘结剂后研磨得到浆料A；喷雾造粒浆料A得到造粒粉；压制造粒粉，制得靶材坯体；于含氧气氛下烧结靶材胚体；靶材胚体依次经过较高的温度T1和低于T1温度50~300℃的T2温度进行烧结。通过优化烧结工艺，先升温至T1使烧结温度达到靶材的临界致密度，然后马上降温，在低于T1温度50~200℃的T2下保温，可降低晶粒生长的速率，缓慢排出靶材坯体内气孔，通过改良烧结工艺，获得高密度、细晶粒的靶材。
主权项：1.一种氧化物靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，混合氧化铟、氧化铈、氧化钛、氧化钽、分散剂、粘结剂后研磨得到浆料A；步骤2，喷雾造粒浆料A得到造粒粉；步骤3，压制造粒粉，制得靶材坯体；步骤4，于含氧气氛下烧结靶材胚体；靶材胚体依次经过较高的温度T1和低于T1温度50~300℃的T2温度进行烧结。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化物靶材及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号