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申请/专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
摘要：本申请涉及一种离子源安装结构和离子源装置，应用于离子源装置上，所述离子源装置包括至少一个霍尔离子源和至少一个中空阴极；所述中空阴极设于距离所述霍尔离子源一设定位置处，为所述霍尔离子源提供中和电子；该安装结构包括：离子源底座、角度调节机构和基座；所述霍尔离子源安装在离子源底座上，所述离子源底座通过角度调节机构安装在基座上，所述离子源底座通过角度调节机构进行转动，以调整霍尔离子源的发射角度。通过本申请的技术方案，可以根据镀膜需求来调整霍尔离子源的角度，从而可以提升离子源覆盖效果，提高使用效率。
主权项：1.一种离子源安装结构，应用于离子源装置上，其特征在于，所述离子源装置包括至少一个霍尔离子源和至少一个中空阴极；所述中空阴极设于距离所述霍尔离子源一设定位置处，为所述霍尔离子源提供中和电子；该安装结构包括：离子源底座、角度调节机构和基座；所述霍尔离子源安装在离子源底座上，且不同的霍尔离子源安装在不同的离子源底座上，所述离子源底座通过角度调节机构安装在基座上，所述离子源底座通过角度调节机构进行转动，以调整对应的霍尔离子源的发射角度；所述霍尔离子源通过滑轨固定在所述离子源底座上，通过所述滑轨滑动调整所述霍尔离子源的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山市博顿光电科技有限公司 佛山市博顿光电科技有限公司 离子源安装结构及离子源装置
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