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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本实施方式公开了一种静电吸盘组件和一种静电吸盘制造方法，其中用于感测基板的基板感测部分和与用于向基板感测部分供电的电源设备连接的信号线已经被形成为嵌入在静电吸盘中。因此，本实施方式可提供为使得用于感测安装在静电吸盘上的基板的基板感测部分和用于向基板感测部分供电的信号线嵌入在静电吸盘中，与常规的方式相比，这可增强载体主体的刚性、防止变形并防止对所述载体主体的电极的干扰。
主权项：1.一种静电吸盘组件，包括：静电吸盘，所述静电吸盘用于通过产生静电力来粘结基板；电源设备，所述电源设备用于向所述静电吸盘供电；载体主体，所述静电吸盘和所述电源设备安装在所述载体主体上；一个或多个基板感测部分，所述一个或多个基板感测部分用于感测所述基板是否相对于所述静电吸盘被吸附；信号线，所述信号线用于将所述电源设备与所述一个或多个基板感测部分连接，以便从所述电源设备向所述一个或多个基板感测部分供电，其中所述信号线通过嵌入在所述静电吸盘中而形成；连接端子，所述连接端子至少部分地暴露于所述静电吸盘的外部，并且固定到所述静电吸盘以与所述信号线连接；和插头，所述插头具有与所述一个或多个基板感测部分连接的一个端部，具有与所述连接端子耦接的另一个端部，以将所述一个或多个基板感测部分与所述信号线电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 静电吸盘组件和静电吸盘制造方法
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