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申请/专利权人：天津大学
摘要：本发明公开一种微沟槽射流抛光装置及抛光方法，所述抛光装置包括基座，供液系统，抛光喷嘴和工作台，所述工作台的上表面可拆卸安装一工件固定组件，用于放置待加工的工件，所述工件固定组件对应设置在所述抛光喷嘴的下方；所述工件固定组件包括置物台和固定元件，所述置物台放置设置在所述工作台的上表面，所述置物台的上表面设置有垂直设置的第一凹槽和第二凹槽，其中所述第一凹槽的竖直深度大于所述第二凹槽；所述抛光喷嘴包括毫米级抛光喷嘴和微米级抛光喷嘴，所述固定元件包括盖板和掩膜；当所述抛光喷嘴为微米级抛光喷嘴时，所述固定元件为盖板；当所述抛光喷嘴为毫米级抛光喷嘴时，所述固定元件为掩膜。
主权项：1.一种微沟槽射流抛光装置，包括基座2，供液系统1，抛光喷嘴7和工作台8，紧邻所述基座2的一侧壁设置有所述供液系统1，所述供液系统1用于将含有磨料颗粒的抛光液输送至所述抛光喷嘴7从而冲击待抛光的微沟槽；所述基座2上固定安装五轴运动平台或机械臂，所述抛光喷嘴7安装在所述五轴运动平台或机械臂的端部；所述工作台8放置在基座2上表面；其特征在于，所述工作台8的上表面可拆卸安装一工件固定组件，用于放置待加工的工件，所述工件固定组件对应设置在所述抛光喷嘴7的下方；其中，所述工件固定组件包括置物台9和固定元件，所述置物台9固定设置在所述工作台8的上表面，所述置物台9的上表面设置有垂直设置的第一凹槽和第二凹槽，其中所述第一凹槽的竖直深度大于所述第二凹槽；所述第一凹槽用于将所述待加工工件嵌入其中，所述第二凹槽用于放置所述固定元件，所述固定元件用于在所述置物台上固定所述工件，其上对应设置有孔用于与所述置物台可拆卸连接；所述抛光喷嘴包括毫米级抛光喷嘴和微米级抛光喷嘴，所述固定元件包括盖板和掩膜；当所述抛光喷嘴为微米级抛光喷嘴时，所述固定元件为盖板；当所述抛光喷嘴为毫米级抛光喷嘴时，所述固定元件为掩膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 一种微沟槽射流抛光装置及抛光方法
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