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背照式SPAD、光探测器阵列及激光雷达 

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申请/专利权人:上海禾赛科技有限公司

摘要:本发明实施例提供了一种背照式SPAD、光探测器阵列及激光雷达,所述背照式SPAD,包括:第一体区域,具有第一导电类型离子,包括适于接收入射光的第一端面;第二体区域,具有第二导电类型离子,与所述第一体区域形成倍增结;分隔侧壁,环绕所述第一体区域和第二体区域,适于对光进行反射;增程结构,适于增加光在所述第一体区域和或所述第二体区域内的传播距离。采用上述方案,由于器件对光子的吸收率正比于光在器件内的传播距离,因此所述分隔侧壁和所述增程结构的设置可以提升器件对光子的吸收率,使得所述倍增结雪崩倍增的倍数增大,从而提升器件的光子探测效率。

主权项:1.一种背照式SPAD,其特征在于,包括:第一体区域,具有第一导电类型离子,包括适于接收入射光的第一端面;第二体区域,具有第二导电类型离子,与所述第一体区域形成倍增结;分隔侧壁,环绕所述第一体区域和第二体区域,适于对光进行反射;增程结构,适于增加光在所述第一体区域和或所述第二体区域内的传播距离。

全文数据:

权利要求:

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