龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
摘要：本发明提供了一种检测芯片、纳米线结构及其制备方法，所述纳米线结构包括：衬底；绝缘介质层，覆盖所述衬底的表面，且具有若干沿第一方向延伸的沟槽；若干纳米线沟道，设于所述绝缘介质层上，且沿第二方向跨越若干所述沟槽，所述第二方向与所述第一方向相交。本发明，通过纳米线沟道跨越若干沟槽，不仅使纳米线沟道在绝缘介质层上的部分显露，还使纳米线沟道朝向沟槽的部分显露，从而增大纳米线沟道显露的外壁面积，也即增大纳米线沟道的比表面积。由该纳米线结构制成的检测芯片可附着更多的灵敏探针，从而提升检测芯片的性能。
主权项：1.一种纳米线结构，其特征在于，包括：衬底；绝缘介质层，覆盖所述衬底的表面，且具有若干沿第一方向延伸的沟槽；若干纳米线沟道，设于所述绝缘介质层上，且沿第二方向跨越若干所述沟槽，所述第二方向与所述第一方向相交。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路研发中心有限公司 检测芯片、纳米线结构及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号