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申请/专利权人：钱塘科技创新中心
摘要：本申请涉及一种研磨装置及研磨方法，研磨装置包括磨盘，磨盘包括第一研磨区和第二研磨区；至少一压头，用于将待加工件压在第一研磨区或第二研磨区的表面；至少一限位组件，用于将压头限位在第一研磨区或第二研磨区，驱动压头相对磨盘旋转；修复组件，用于修复处于空闲状态的第一研磨区或第二研磨区。研磨方法包括：将待加工件固定于压头的朝向磨盘的一侧，限位组件将压头限位在磨盘的第一研磨区或第二研磨区；驱动磨盘和压头相对运动以在第一研磨区或第二研磨区研磨待加工件；修复组件修复处于空闲状态的第一研磨区或第二研磨区。本申请设置多个研磨区以提高加工数量，并能修复处于空闲状态的研磨区以节省磨盘的修复时间，从而提升了研磨效率。
主权项：1.一种研磨装置，其特征在于，包括：磨盘，包括第一研磨区和第二研磨区；至少一压头，用于将待加工件压在所述第一研磨区或所述第二研磨区的表面；至少一限位组件，用于将所述压头限位在所述第一研磨区或所述第二研磨区，以及，驱动所述压头相对所述磨盘旋转；修复组件，用于修复处于空闲状态的所述第一研磨区或所述第二研磨区。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 钱塘科技创新中心 一种研磨装置及研磨方法
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