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申请/专利权人：安立股份有限公司
摘要：本发明提供一种能够抑制扫描速度降低的同时稳定地测定脉冲光的光谱的光谱分析仪。AD转换部17具有与多个放大器Amp21～Amp2m的输出连接的多个输入。控制部12根据由多个放大器Amp21～Amp2m放大的光功率信号来选择输出未饱和的放大器Amp21～Amp2m中的1个。控制部12将在从上一个波长扫描到下一个波长的期间由AD转换部17采样并且由所选择的放大器Amp21～Amp2m放大的光功率信号的平均值作为下一个波长的光功率信号。
主权项：1.一种光谱分析仪1，其具备：分光部4，射出使测定对象的脉冲光中所包含的波长在与该波长相对应的方向上分光而得的衍射光；受光部8，接收从所述分光部4射出的所述衍射光并转换为电信号；扫描部9，使所述受光部8接收经波长扫描的所述衍射光；放大部16，对由所述受光部8转换的所述电信号进行放大并作为光功率信号输出；AD转换部17，对所述放大部16所输出的所述光功率信号进行AD转换；及控制部12，根据在波长扫描期间由所述AD转换部17采样并转换为数字值的所述光功率信号来求出所述脉冲光中所包含的每个波长的光功率，所述光谱分析仪1中，所述放大部16具备具有互不相同的增益的多个放大器Amp21～Amp2m，所述AD转换部17具有分别连接有多个所述放大器Amp21～Amp2m的输出的多个AD转换器，所述控制部12进行如下处理：根据由多个所述放大器Amp21～Amp2m放大并由多个所述AD转换器分别转换为数字值的所述光功率信号来选择输出未饱和的所述放大器Amp21～Amp2m中的1个；根据由所述AD转换部17采样并且所选择的所述放大器Amp21～Amp2m所输出的所述光功率信号的数字值来求出所述光功率。
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