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申请/专利权人：爱奇迹创造有限公司
摘要：本申请公开了一种电子雾化装置，包括储液组件、雾化组件、MEMS传感器、电源和控制电路，其中，MEMS传感器用于检测气流通道内的气压变化；MEMS传感器包括衬底和施力元件；衬底上具有惠斯通电桥电路；施力元件被配置为在通电情况下产生作用于所述衬底的作用力，所述作用力趋于使所述衬底恢复形变；电源用于直接或间接地向雾化组件和MEMS传感器提供电压；控制电路分别与雾化组件、MEMS传感器和电源电连接；控制电路用于通过MEMS传感器检测气流通道内的气压变化，以及根据检测到的气压变化量控制雾化组件工作。通过这样的方式，可对应变膜的挠度进行补偿，很好地改善了衬底的形变不会与压力呈理想线性变化的问题，提高了MEMS传感器的检测精度。
主权项：1.一种电子雾化装置，其特征在于，包括：储液组件，用于存储气溶胶生成基质；雾化组件，用于雾化所述气溶胶生成基质；MEMS传感器，气流连通所述电子雾化装置的气流通道，用于检测所述气流通道内的气压变化；所述MEMS传感器包括：衬底，所述衬底上具有惠斯通电桥电路，所述惠斯通电桥电路的桥臂包括压敏电阻；施力元件，所述施力元件被配置为在通电情况下产生作用于所述衬底的作用力，所述作用力趋于使所述衬底恢复形变；电源，用于直接或间接地向所述雾化组件和所述MEMS传感器提供电压；控制电路，分别与所述雾化组件、所述MEMS传感器和所述电源电连接；所述控制电路用于通过所述MEMS传感器检测所述气流通道内的气压变化，以及根据检测到的气压变化量控制所述雾化组件工作；其中，所述控制电路用于接收所述MEMS传感器传递的电压信号，以确定所述气流通道内的气压；且所述控制电路响应于大于预设气压值的电压信号，控制所述施力元件工作，以使所述施力元件向所述衬底施加所述作用力，以减小所述衬底因气压产生的形变。
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