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申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种修刀方法及修刀装置，修刀方法包括：获取晶棒表面的粗糙程度；根据晶棒表面的粗糙程度，确认用于对晶棒进行磨削的磨削结构是否需要进行修整；若需要对磨削结构进行修整，判断磨削结构的待修整的磨削部；控制待修整的磨削部朝向修刀器靠近以运动至修整位置；根据晶棒表面的粗糙程度确定磨削工作参数；控制修刀器以磨削工作参数对待修整的磨削部进行修整；磨削工作参数包括正向修整的次数和反向修整的次数，正向修整的次数为对磨削部沿晶棒的运动方向进行修整的次数，反向修整的次数为磨削部沿与晶棒的运动方向相反的方向进行修整的次数。通过本发明的技术方案，能解决现有技术中在对磨削结构进行修整后磨削部会出现毛刺的问题。
主权项：1.一种修刀方法，其特征在于，所述修刀方法包括：获取晶棒表面的粗糙程度；根据所述晶棒表面的粗糙程度，确认用于对所述晶棒进行磨削的磨削结构是否需要进行修整；若需要对所述磨削结构进行修整，判断所述磨削结构的待修整的磨削部；控制所述待修整的磨削部朝向修刀器靠近以运动至修整位置；根据所述晶棒表面的粗糙程度确定磨削工作参数；控制所述修刀器以所述磨削工作参数对所述待修整的磨削部进行修整；其中，所述磨削工作参数包括正向修整的次数和反向修整的次数，所述正向修整的次数为对所述磨削部沿所述晶棒的运动方向进行修整的次数，所述反向修整的次数为所述磨削部沿与所述晶棒的运动方向相反的方向进行修整的次数。
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百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 修刀方法及修刀装置
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