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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本文公开有关将电沉积工具中的阳极结构与阴极之间的镀覆间隙特征化的示例。一示例提供用于将电沉积工具的镀覆间隙的间距特征化的治具。该治具包含衬底保持器接口，该衬底保持器接口被配置成接触电沉积工具的衬底保持器的密封件。该治具还包括突出部，该突出部包含配置成在镀覆间隙特征化工艺期间接触电沉积工具的阳极结构的接触表面。含有衬底保持器接口的平面与突出部的接触表面之间的距离的厚度尺寸对应于预选的镀覆间隙的间距。
主权项：1.一种用于将电沉积工具的镀覆间隙的间距特征化的治具，所述镀覆间隙包括在电沉积期间在衬底表面与所述电沉积工具的阳极结构之间的距离，所述治具包含：衬底保持器接口，其配置成接触所述电沉积工具的衬底保持器的密封件；以及突出部，其包含被配置成在镀覆间隙的特征化工艺期间接触所述电沉积工具的所述阳极结构的接触表面，其中包括在所述衬底保持器接口的平面与所述突出部的所述接触表面之间的距离的厚度尺寸对应于预选的镀覆间隙间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 电沉积工具中的间隙特征化
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