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申请/专利权人:周星工程股份有限公司
摘要:一种基板处理设备包含:具有侧壁的腔室;用以在腔室内部安装基板的基座;围绕腔室的顶面并由透明介电材料形成的顶圆盖;设置在顶圆盖之上以产生电感耦合等离子体的天线;以及设置以围绕天线的电磁波遮挡外壳,其中电磁波遮挡外壳可由加热器来加热。
主权项:1.一种基板处理设备,包含:腔室,具有侧壁;基座,用以在所述腔室内部安装基板;顶圆盖,围绕所述腔室的顶面并且由透明介电材料形成;天线,设置在所述顶圆盖之上以产生电感耦合等离子体;以及电磁波遮挡外壳,设置以围绕所述天线,其中,所述电磁波遮挡外壳通过加热器来加热。
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百度查询: 周星工程股份有限公司 基板处理设备
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