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申请/专利权人：周星工程股份有限公司
摘要：一种基板处理设备包含：具有侧壁的腔室；用以在腔室内部安装基板的基座；围绕腔室的顶面并由透明介电材料形成的顶圆盖；设置在顶圆盖之上以产生电感耦合等离子体的天线；以及设置以围绕天线的电磁波遮挡外壳，其中电磁波遮挡外壳可由加热器来加热。
主权项：1.一种基板处理设备，包含：腔室，具有侧壁；基座，用以在所述腔室内部安装基板；顶圆盖，围绕所述腔室的顶面并且由透明介电材料形成；天线，设置在所述顶圆盖之上以产生电感耦合等离子体；以及电磁波遮挡外壳，设置以围绕所述天线，其中，所述电磁波遮挡外壳通过加热器来加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 周星工程股份有限公司 基板处理设备
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