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反应炉和镀膜系统 

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申请/专利权人:拉普拉斯新能源科技股份有限公司

摘要:本公开涉及半导体或光伏材料加工技术领域,具体涉及一种反应炉和镀膜系统,解决了相关技术的反应炉的产能低的问题。本公开实施例提供的一种反应炉,被配置为对待加工产品进行镀膜,待加工产品的形状包括立方体。反应炉包括:腔体和炉门。腔体具有腔室,腔室包括立方体,腔室具有朝向下方的炉口,腔室被配置为容纳待加工产品,炉门位于腔体的下方,被配置为承载待加工产品,并能够在外力的驱动下打开或关闭炉口。立方体的腔室相对于圆柱体的腔室可容纳待加工产品的数量更多,另外,朝向下方的炉口可以避免通过悬臂驱动炉门来打开或关闭炉口,进而避免受悬臂的承载重量限制,以使炉门承载的待加工产品的数量更多,从而提高反应炉的产能。

主权项:1.一种反应炉,其特征在于,被配置为对待加工产品进行镀膜,所述待加工产品的形状包括立方体;其中,所述反应炉包括:腔体,具有腔室,所述腔室的形状与所述待加工产品的形状相适配,所述腔室具有朝向下方的炉口,所述腔室被配置为容纳所述待加工产品;炉门,位于所述腔体的下方,被配置为承载所述待加工产品,并能够在外力的驱动下打开或关闭所述炉口。

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