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红外光电探测器的制备方法和红外光电探测器 

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申请/专利权人:深圳市奥伦德元器件有限公司

摘要:本申请提供了一种红外光电探测器的制备方法和红外光电探测器,包括:对衬底层的其中一侧进行掩膜刻蚀,以使衬底层的一侧形成感光面,其中,衬底层背离感光面的一侧为接触面,衬底层由磷化铟制成;将衬底层的感光面上的磷化铟氧化为氧化铟;在感光面的表面进行镀金处理,将镀金处理后的衬底层进行退火处理,以使感光面的表面形成金量子点;在接触面设置p型电极层,在感光面设置n型电极层,得到红外光电探测器。根据本申请实施例提供的方案,能够提升红外光电探测器的灵敏度。

主权项:1.一种红外光电探测器的制备方法,其特征在于,包括:对衬底层的其中一侧进行掩膜刻蚀,以使所述衬底层的一侧形成感光面,其中,所述衬底层背离所述感光面的一侧为接触面,所述衬底层由磷化铟制成;将所述衬底层的感光面上的所述磷化铟氧化为氧化铟;在所述感光面的表面进行镀金处理,将镀金处理后的所述衬底层进行退火处理,以使所述感光面的表面形成金量子点;在所述接触面设置p型电极层,在所述感光面设置n型电极层,得到红外光电探测器。

全文数据:

权利要求:

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