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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种退火工艺腔室及半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域，所公开的退火工艺腔室包括腔室本体和加热组件，腔室本体中设有工艺空间，工艺空间用于对待加热件进行退火工艺；加热组件设于腔室本体的工艺空间内，加热组件包括透光防护罩和加热灯，透光防护罩至少罩设于加热灯面向待加热件的一侧，且透光防护罩包括朝向待加热件的弧形表面。上述的加热灯设置在工艺空间内，并利用透光防护罩对其实现防护，由于透光防护罩的朝向待加热件的表面为弧面，相较于石英平板而言，具有更好的耐压性能，因此可以在满足耐压性能的前提下，适当减小透光防护罩的壁厚，使得透光防护罩能够兼顾耐压性能和透光性能，从而能够提升加热灯的光线透过率，进而提升了加热效率。
主权项：1.一种退火工艺腔室，其特征在于，包括：腔室本体110，所述腔室本体110中设有工艺空间101，所述工艺空间101用于对待加热件进行退火工艺；加热组件120，设于所述腔室本体110的工艺空间101内，所述加热组件120包括透光防护罩和加热灯122，所述透光防护罩至少罩设于所述加热灯122面向所述待加热件的一侧，且所述透光防护罩包括朝向所述待加热件的弧形表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 退火工艺腔室及半导体工艺设备
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