龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
摘要：一种静电卡盘部件，其具备：第1板体、第2板体及第3板体，设置有搭载试样的载置面及位于与载置面相反的一侧的下表面，并且沿厚度方向依次层叠且彼此接合而成；第1电极层，位于第1板体与第2板体之间；供电部接合层，位于第2板体与第3板体之间；柱状的第1供电部，嵌入于第2板体；及柱状的第2供电部，嵌入于第3板体，所述第1供电部连接所述第1电极层与所述供电部接合层，所述第2供电部从所述供电部接合层向所述下表面侧延伸，所述第1电极层与所述第2供电部经由第1供电部及供电部接合层电连接。
主权项：1.一种静电卡盘部件，其具备：第1板体、第2板体及第3板体，具有搭载试样的载置面及位于与所述载置面相反的一侧的下表面，并且沿厚度方向依次层叠且彼此接合而成；第1电极层，位于所述第1板体与所述第2板体之间；供电部接合层，位于所述第2板体与所述第3板体之间；柱状的第1供电部，嵌入于所述第2板体；及柱状的第2供电部，嵌入于所述第3板体，所述第1供电部连接所述第1电极层与所述供电部接合层，所述第2供电部从所述供电部接合层向所述下表面侧延伸，所述第1电极层与所述第2供电部经由所述第1供电部及所述供电部接合层电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友大阪水泥股份有限公司 静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号