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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种面形干涉系统的补偿控制方法及控制系统，其中，补偿控制方法包括以下步骤：控制运动台带动被测对象沿第一方向移动，获取被测对象沿第一方向的位移量I、沿第三方向的预设位移量以及沿第四方向的偏移量；基于预设位移量和偏移量的第一函数关系以及位移量和预设位移量之间的第二函数关系，确定被测对象沿第二方向的补偿量；基于预设位移量位移量和补偿量，控制运动台移动，若被测对象沿第三方向移动预设位移量时，则控制运动台沿第一方向移动位移量，且控制运动台沿第二方向的反方向移动补偿量。本发明提升对大尺寸被测对象拼接后的面形检测精度，以及保证拼接后的面形检测与被测对象的实际尺寸、轮廓的一致性。
主权项：1.一种面形干涉系统的补偿控制方法，其特征在于，面形干涉系统包括运动台和干涉仪，所述运动台具有放置被测对象的载物区，所述被测对象位于所述干涉仪的检测范围内；所述运动台能够带动所述被测对象在所述运动台的坐标系中沿第一方向和与所述第一方向相垂直的第二方向移动，所述被测对象能够在所述干涉仪的坐标系中沿第三方向和与所述第三方向相垂直的第四方向移动；所述面形干涉系统的补偿控制方法包括以下步骤：控制所述运动台带动所述被测对象沿所述第一方向移动，使所述被测对象沿所述第三方向移动预设位移量x，获取所述被测对象沿所述第一方向的位移量Ix、沿所述第三方向的预设位移量x以及沿所述第四方向的偏移量y；基于所述预设位移量x和所述偏移量y的第一函数关系以及所述位移量Ix和所述预设位移量x之间的第二函数关系，确定所述被测对象沿所述第二方向的补偿量Iy；基于所述预设位移量x、所述位移量Ix和所述补偿量Iy，控制所述运动台移动，若所述被测对象沿所述第三方向移动所述预设位移量x时，则控制所述运动台沿所述第一方向移动所述位移量Ix，且控制所述运动台沿所述第二方向的反方向移动所述补偿量Iy。
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