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片盒配件拆卸装置和片盒配件拆卸方法 

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申请/专利权人:西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

摘要:本发明涉及一种片盒配件拆卸装置,用于拆卸安装于片盒的顶部的蘑菇头,包括:蘑菇头拆卸结构,用于压接于蘑菇头,并至少对蘑菇头施加第一方向的力,第一方向垂直于片盒的顶部;缓冲辅助结构,包括具有第一状态和第二状态的第一缓冲部,在第一状态下,第一缓冲部用于在蘑菇头拆卸结构对片盒施加第一方向上的力时,抵接于片盒的顶部,并对片盒施加第一方向上的力;在第二状态下,在蘑菇头拆卸结构取下蘑菇头时,以预设速度缓慢撤销对片盒施加的第一方向上的力。在蘑菇头拆卸结构拆卸蘑菇头后,瞬间撤销对片盒的顶部施加的力时,缓冲辅助结构以预设速度缓慢远离片盒,从而缓解由于蘑菇头拆卸结构突然撤销外力,对片盒造成的损伤。

主权项:1.一种片盒配件拆卸装置,用于拆卸安装于片盒的顶部的蘑菇头,其特征在于,包括:蘑菇头拆卸结构,用于压接于所述蘑菇头,并至少对所述蘑菇头施加第一方向的力,所述第一方向垂直于所述片盒的顶部;缓冲辅助结构,包括具有第一状态和第二状态的第一缓冲部,在所述第一状态下,所述第一缓冲部用于在所述蘑菇头拆卸结构对所述片盒施加所述第一方向上的力时,抵接于所述片盒的顶部,并对所述片盒施加所述第一方向上的力;在所述第二状态下,在所述蘑菇头拆卸结构取下所述蘑菇头时,以预设速度匀速撤销对所述片盒施加的所述第一方向上的力。

全文数据:

权利要求:

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