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申请/专利权人：山东航天电子技术研究所
摘要：本发明涉及X射线光学系统设计以及膜层设计分析技术领域，提供一种基于光子晶体的宽入射角高反射率X射线反射膜及制备方法，该反射膜包括由高透射率、低热膨胀系数材料制成的基底，以及在基底上设置的光子晶体层。光子晶体层由高折射率与低折射率材料交替叠加形成周期单元，具有特定禁带结构，能在0.5nm至10nm波长范围内实现布拉格反射。采用纳米压印或溶胶‑凝胶法制备，通过退火处理提高结构稳定性。本发明的反射膜在宽入射角范围内保持高反射率，克服了传统X射线反射膜的入射角限制，适用于空间X射线探测等领域，具有高效、轻量、低成本及易于规模化生产的优势。
主权项：1.一种基于光子晶体的宽入射角高反射率X射线反射膜，其特征在于，其包括：基底，所述基底由具有高透射率和低热膨胀系数的材料制成；设置于基底上方的光子晶体层，所述光子晶体层包含若干周期单元，每个周期单元由一层高折射率材料叠加一层低折射率材料组成，重复的序列形成具有特定禁带的光子带隙结构，使得在0.5nm至10nm波长范围内的X射线发生布拉格反射；所述介质材料选自铌酸锂、氧化锆、氮化硅、二氧化硅和铱中的两种材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东航天电子技术研究所 一种基于光子晶体的宽入射角高反射率X射线反射膜及制备方法
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