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申请/专利权人:江苏东玖光电科技有限公司
摘要:本发明涉及氧化物靶材的技术领域,尤其是涉及一种氧化镍基靶材的制备方法与应用;一种氧化镍基靶材的制备方法,步骤如下:步骤1、将氧化镍基粉末材料、分散剂、粘结剂和水制成浆料,球磨后,经喷雾造粒后得到颗粒;步骤2、将颗粒过筛,得到粉体,将粉体进行装模、压制,得到坯体;步骤3、将坯体真空热压烧结后,脱模、切割、打磨和修整,得到氧化镍靶材;在坯体真空热压烧结的过程中,向坯体喷射导热复合材料;导热复合材料包括以下质量份数的原料组分:二氧化硅凝胶30‑50份、纳米二氧化钛20‑30份、硬酯酸5‑10份、石墨7‑16份、聚酰胺蜡5‑15份以及偶联剂1‑5份;本申请制备得到的氧化物靶材,具有低电阻率,有效防止氧化镍基靶材开裂。
主权项:1.一种氧化镍基靶材的制备方法,其特征在于,步骤如下:步骤1、将氧化镍基粉末材料、分散剂、粘结剂和水制成浆料,球磨后,经喷雾造粒后得到颗粒;步骤2、将颗粒过筛,得到粉体,将粉体进行装模、压制,得到坯体;步骤3、将坯体真空热压烧结后,脱模、切割、打磨和修整,得到氧化镍靶材;其中,在坯体真空热压烧结的过程中,向坯体喷射导热复合材料;所述导热复合材料包括以下质量份数的原料组分:二氧化硅凝胶30-50份、纳米二氧化钛20-30份、硬酯酸5-10份、石墨7-16份、聚酰胺蜡5-15份以及偶联剂1-5份。
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百度查询: 江苏东玖光电科技有限公司 一种氧化镍基靶材的制备方法与应用
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