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申请/专利权人：江苏东玖光电科技有限公司
摘要：本发明涉及氧化物靶材的技术领域，尤其是涉及一种氧化镍基靶材的制备方法与应用；一种氧化镍基靶材的制备方法，步骤如下：步骤1、将氧化镍基粉末材料、分散剂、粘结剂和水制成浆料，球磨后，经喷雾造粒后得到颗粒；步骤2、将颗粒过筛，得到粉体，将粉体进行装模、压制，得到坯体；步骤3、将坯体真空热压烧结后，脱模、切割、打磨和修整，得到氧化镍靶材；在坯体真空热压烧结的过程中，向坯体喷射导热复合材料；导热复合材料包括以下质量份数的原料组分：二氧化硅凝胶30‑50份、纳米二氧化钛20‑30份、硬酯酸5‑10份、石墨7‑16份、聚酰胺蜡5‑15份以及偶联剂1‑5份；本申请制备得到的氧化物靶材，具有低电阻率，有效防止氧化镍基靶材开裂。
主权项：1.一种氧化镍基靶材的制备方法，其特征在于，步骤如下：步骤1、将氧化镍基粉末材料、分散剂、粘结剂和水制成浆料，球磨后，经喷雾造粒后得到颗粒；步骤2、将颗粒过筛，得到粉体，将粉体进行装模、压制，得到坯体；步骤3、将坯体真空热压烧结后，脱模、切割、打磨和修整，得到氧化镍靶材；其中，在坯体真空热压烧结的过程中，向坯体喷射导热复合材料；所述导热复合材料包括以下质量份数的原料组分：二氧化硅凝胶30-50份、纳米二氧化钛20-30份、硬酯酸5-10份、石墨7-16份、聚酰胺蜡5-15份以及偶联剂1-5份。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏东玖光电科技有限公司 一种氧化镍基靶材的制备方法与应用
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