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申请/专利权人：中科光智(重庆)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种微波等离子清洗装置、贴片机及贴片工艺包括，微波发生源、惰性气体存储组件和与所述微波发生源通过管道连通的等离子离化组件；其中，微波发生源用于产生微波，所述惰性气体存储组件与所述等离子离化组件连通，等离子离化组件包括壳体、喷头和安装在所述壳体内的等离子体发生单元，喷头与惰性气存储组件连通，所述等离子体发生单元用于配合来自微波发生源的微波从而激发所述喷头产生等离子体。本发明将微波等离子清洗功能结合到了贴片机中，可以尽可能的减轻焊层的氧化，本发明通过在贴片机中增加了微波等离子清洗装置从而能够改善焊层的氧化因此能够提升贴片的质量，进而提升芯片的性能，增加芯片良率。
主权项：1.一种微波等离子清洗装置，其特征在于：包括，微波发生源、惰性气体存储组件和与所述微波发生源通过管道连通的等离子离化组件；其中，所述微波发生源用于产生微波，所述惰性气体存储组件与所述等离子离化组件连通，所述等离子离化组件包括壳体、喷头和安装在所述壳体内的等离子体发生单元，所述喷头与惰性气存储组件连通，所述等离子体发生单元用于配合来自微波发生源的微波从而激发所述喷头产生等离子体。
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权利要求：
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