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申请/专利权人：深圳市奥伦德元器件有限公司
摘要：本申请提供了一种红外光电探测器的制备方法和红外光电探测器，包括：通过磁控溅射方法将金属靶材溅射至衬底层上，形成金属层，其中，金属靶材包括主体材料和掺杂元素，主体材料包括金属钒，掺杂元素包括铋元素、镁元素以及锂元素；对金属层进行氧化处理，以使金属钒氧化为氧化钒，形成热敏半导体层；对热敏半导体层进行退火处理，以激活镁元素和锂元素在氧化钒中的p型掺杂，并使热敏半导体层远离衬底层的一侧的表面上析出由铋元素组成的铋量子点；在衬底层远离热敏半导体层的一侧设置第一电极层，在热敏半导体层远离衬底层的一侧设置第二电极层，得到红外光电探测器。根据本申请实施例提供的方案，能够提升红外光电探测器的光电效率。
主权项：1.一种红外光电探测器的制备方法，其特征在于，包括：通过磁控溅射方法将金属靶材溅射至衬底层上，形成金属层，其中，所述金属靶材包括主体材料和掺杂元素，所述主体材料包括金属钒，所述掺杂元素包括铋元素、镁元素以及锂元素；对所述金属层进行氧化处理，以使所述金属钒氧化为氧化钒，形成热敏半导体层；对所述热敏半导体层进行退火处理，以激活镁元素和锂元素在氧化钒中的p型掺杂，并使所述热敏半导体层远离所述衬底层的一侧的表面上析出由所述铋元素组成的铋量子点；在所述衬底层远离所述热敏半导体层的一侧设置第一电极层，在所述热敏半导体层远离所述衬底层的一侧设置第二电极层，得到红外光电探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市奥伦德元器件有限公司 红外光电探测器的制备方法和红外光电探测器
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