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申请/专利权人：无锡华润上华科技有限公司
摘要：本发明涉及一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法，所述方法包括：获取晶圆，所述晶圆包括基底；对所述基底进行发射极掺杂，形成第一导电类型的发射极掺杂区；在所述基底上形成层间介质层；进行接触孔光刻，形成位于所述发射极掺杂区上方的接触孔刻蚀窗口；通过所述接触孔刻蚀窗口向下刻蚀，形成第一孔；形成所述第一孔后对所述晶圆进行热退火处理。本发明可以避免晶圆翘曲对接触孔光刻的对位精度造成的影响，从而提高接触孔的光刻对位精度。
主权项：1.一种绝缘栅双极型晶体管的制造方法，包括：获取晶圆，所述晶圆包括基底；对所述基底进行发射极掺杂，形成第一导电类型的发射极掺杂区；在所述基底上形成层间介质层；进行接触孔光刻，形成位于所述发射极掺杂区上方的接触孔刻蚀窗口；通过所述接触孔刻蚀窗口向下刻蚀，形成第一孔；形成所述第一孔后对所述晶圆进行热处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡华润上华科技有限公司 绝缘栅双极型晶体管及其制造方法
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