买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:无锡华润上华科技有限公司
摘要:本发明涉及一种绝缘栅双极型晶体管及其制造方法,所述方法包括:获取晶圆,所述晶圆包括基底;对所述基底进行发射极掺杂,形成第一导电类型的发射极掺杂区;在所述基底上形成层间介质层;进行接触孔光刻,形成位于所述发射极掺杂区上方的接触孔刻蚀窗口;通过所述接触孔刻蚀窗口向下刻蚀,形成第一孔;形成所述第一孔后对所述晶圆进行热退火处理。本发明可以避免晶圆翘曲对接触孔光刻的对位精度造成的影响,从而提高接触孔的光刻对位精度。
主权项:1.一种绝缘栅双极型晶体管的制造方法,包括:获取晶圆,所述晶圆包括基底;对所述基底进行发射极掺杂,形成第一导电类型的发射极掺杂区;在所述基底上形成层间介质层;进行接触孔光刻,形成位于所述发射极掺杂区上方的接触孔刻蚀窗口;通过所述接触孔刻蚀窗口向下刻蚀,形成第一孔;形成所述第一孔后对所述晶圆进行热处理。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡华润上华科技有限公司 绝缘栅双极型晶体管及其制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。