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一种阴、阳离子混合掺杂的改性氧化钒薄膜及其制备方法和应用 

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申请/专利权人:广西电网有限责任公司电力科学研究院

摘要:本发明公开了一种阴、阳离子混合掺杂的改性氧化钒薄膜及其制备方法和应用。本发明的方法能够掺杂抑制氧化钒晶体的生长,晶粒尺寸减小从而降低表面粗糙度。制备得到的改性氧化钒薄膜由金属相向绝缘相转变的临界温度值降低,且具有更合适的室温方块电阻值与更高的温度电阻系数,有利于扩大其应用领域及工作温度范围。

主权项:1.一种阴、阳离子混合掺杂的改性氧化钒薄膜的制备方法,其特征在于:包括,将草酸和五氧化二钒混合溶于去离子水中,水浴加热,得到草酸氧钒溶液;将钨掺杂源和氟掺杂源溶于草酸氧钒溶液中,得到的混合溶液,放入具有衬底的反应釜中,进行水热反应,反应结束后取出衬底,得到改性氧化钒薄膜;将改性氧化钒薄膜清洗、吹干、退火后,即可得到阴、阳离子混合掺杂的改性氧化钒薄膜。

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