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压电谐振式压力传感器、压力补偿系统及制备方法 

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申请/专利权人:复远芯(上海)科技有限公司

摘要:本申请公开了一种压电谐振式压力传感器、压力补偿系统及制备方法,涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造技术领域,压电谐振式压力传感器包括:压电组件,直接或间接地与外接电路连接;谐振结构,与压电组件连接,谐振结构具有谐振薄膜;压力敏感结构,设置在谐振薄膜背离压电组件的一侧;压力敏感结构靠近谐振薄膜的一侧开设有至少一个谐振腔,压力敏感结构背离谐振薄膜的一侧开设有压力腔,压力腔接收的压力能够传递至谐振结构上的谐振薄膜;至少一个谐振腔的投影处于压力腔的投影外侧。本申请能够通过谐振结构的谐振频率的变化来检测压力,并且能够使得压电谐振式压力传感器具有更大的承受能力,进而可以具有更大的压力检测范围。

主权项:1.一种压电谐振式压力传感器,其特征在于,应用于电子核心产业,所述压电谐振式压力传感器包括:压电组件,直接或间接地与外接电路连接;谐振结构,与所述压电组件连接,所述谐振结构具有谐振薄膜;压力敏感结构,设置在所述谐振薄膜背离所述压电组件的一侧;所述压力敏感结构靠近所述谐振薄膜的一侧开设有至少一个谐振腔,所述谐振薄膜封闭或者不封闭至少部分所述谐振腔,所述压力敏感结构背离所述谐振薄膜的一侧开设有压力腔,所述压力腔接收的压力能够传递至所述谐振结构上的所述谐振薄膜;所述压力敏感结构朝向所述压电组件的方向上,至少一个所述谐振腔的投影处于所述压力腔的投影外侧。

全文数据:

权利要求:

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