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申请/专利权人：江苏雷博微电子设备有限公司

摘要：本发明公开了一种具备快拆光源掩膜板的光源调整装置，涉及半导体制造技术领域，包括固定板，固定板的一端设置有光斑调整机构，光斑调整机构的一侧设置有对焦机构，光斑调整机构的底端设置有掩膜板载台，掩膜板载台的底部设置有照度计，光斑调整机构与对焦机构的内部穿插设置有普光光源；固定板的顶端设置有固定顶板，固定顶板的底端四角均设置有框架，框架的底端设置有固定底板，固定底板的顶端设置有与照度计相配合的固定架；固定底板的顶端一侧设置有横移台，固定底板的顶端中部设置有横移吸附旋转台，横移吸附旋转台与横移台通过连接块相配合，横移吸附旋转台顶端设置有硅片。本发明结构简单、成本低廉、调整方便，适应多种工艺制程需求。

主权项：1.一种具备快拆光源掩膜板的光源调整装置，包括固定板（1），其特征在于，所述固定板（1）的一端设置有光斑调整机构（2），所述光斑调整机构（2）的一侧设置有对焦机构（3），所述光斑调整机构（2）的底端设置有掩膜板载台（4），所述掩膜板载台（4）的底部设置有照度计（5），所述光斑调整机构（2）与所述对焦机构（3）的内部穿插设置有普光光源（6）；所述固定板（1）的顶端设置有固定顶板（7），所述固定顶板（7）的底端四角均设置有框架（8），所述框架（8）的底端设置有固定底板（9），所述固定底板（9）的顶端设置有与所述照度计（5）相配合的固定架（10）；所述固定底板（9）的顶端一侧设置有横移台（11），所述固定底板（9）的顶端中部设置有横移吸附旋转台（12），所述横移吸附旋转台（12）与所述横移台（11）通过连接块一（13）相配合，所述横移吸附旋转台（12）顶端设置有硅片（14）；所述掩膜板载台（4）的包括设置在所述光斑调整机构（2）底端的掩膜板（401），所述掩膜板（401）的内部设置有滤光片（402），所述掩膜板（401）的底端开设有开口（403）；所述掩膜板（401）的端部设置有连接块二（404），所述连接块二（404）的两端均开设有凹槽（405），所述凹槽（405）的内部设置有锁扣组件（406），所述掩膜板（401）的端部设置有与所述锁扣组件（406）的相配合的卡扣（407）；所述卡扣（407）的外侧设置有若干限位杆（408），且所述限位杆（408）位于所述掩膜板（401）的端部，所述限位杆（408）与所述连接块二（404）通过限位槽（409）相配合，且所述限位槽（409）位于所述锁扣组件（406）的外侧；所述锁扣组件（406）的包括设置在所述凹槽（405）的内部的锁扣外壳（4061），所述锁扣外壳（4061）的一侧开设有滑动槽（4062），所述锁扣外壳（4061）的另一侧开设有限位孔（4063），所述锁扣外壳（4061）的两端均开设有通孔（4064），所述通孔（4064）的底端设置有斜板（4065）；所述锁扣外壳（4061）的内底端设置有压缩弹簧（4066），所述压缩弹簧（4066）的内底端设置有限位块，所述压缩弹簧（4066）的顶端设置有压缩移动块（4067），所述压缩移动块（4067）的一端设置有与所述滑动槽（4062）相配合的滑动块（4068），所述压缩移动块（4067）的另一端设置有轨道槽（4069），所述轨道槽（4069）的一端设置有连接杆（40610），所述连接杆（40610）靠近所述压缩移动块（4067）的一端设置有与所述轨道槽（4069）相配合的轨道移动轴（40611），所述连接杆（40610）靠近所述锁扣外壳（4061）的一端设置有与所述限位孔（4063）相配合的限位轴（40612）；所述压缩移动块（4067）的顶端设置有与所述卡扣（407）相配合的卡爪（40613）。

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