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申请/专利权人：株式会社日立高新技术

摘要：本发明的带电粒子束装置100具备：照射部110，其对试样S照射带电粒子束；检测部130，其输出向试样S照射带电粒子束引起的信号；显示部154，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部151，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部110以及检测部130的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置100经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样S的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样S的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部151。

主权项：1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：照射部，其对试样照射带电粒子束；检测部，其输出向所述试样照射所述带电粒子束引起的信号；界面输出部，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及评价部，其执行与关注对象物相关的评价，所述条件组包括如下信息：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件和检测条件中的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定所述照射部和所述检测部中的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息，所述带电粒子束装置进行如下动作：经由所述条件选择界面接受所述条件组的选择；基于所确定的所述搜索条件，对所述试样的第一区域照射所述带电粒子束，并对由该照射引起的第一信号进行检测；向所确定的所述已学习模型交接基于所述第一信号的信息；从所确定的所述已学习模型取得表示包含所述关注对象物的候选位置的所述试样的第二区域的信息，所述第二区域是所述第一区域的一部分且比所述第一区域小；基于所确定的所述解析条件，对所述第二区域照射所述带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测；以及将基于所述第二信号的信息输入到所述评价部，所述带电粒子束装置进行如下动作：基于第一搜索条件取得表示所述第二区域的信息；在无法适当地检测出所述关注对象物的情况下，即在所述第一搜索条件所涉及的表示所述第二区域的信息不满足预定条件的情况下，基于对所述第一搜索条件的至少一部分进行变更而得的第二搜索条件取得表示所述第二区域的信息；以及在能够适当地检测出所述关注对象物的情况下，即在所述第二搜索条件所涉及的表示所述第二区域的信息满足所述预定条件的情况下，将所述第二搜索条件存储为所述条件组的一部分。

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