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申请/专利权人：三英精控(天津)仪器设备有限公司
摘要：本发明属于纳米扫描平台技术领域，尤其涉及一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，包括平台X轴、平台Y轴、平台Z轴、X轴菱形放大机构、Y轴菱形放大机构、Z轴铰链、X轴压电陶瓷、Y轴压电陶瓷、Z轴压电陶瓷、平台动态机构、X轴静态板、Y轴静态板、X轴传感器、Y轴传感器和Z轴传感器，所述平台动态机构包括中心圆环、X轴解耦铰链、Y轴解耦铰链、正方形框架、X轴挡板、Y轴挡板、X轴动态板和Y轴动态板。为了使纳米扫描平台设计尺寸缩小、使X轴和Y轴方向平动时平台动态机构不会产生旋转，本发明提供一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台。
主权项：1.一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台，其特征在于：包括平台X轴、平台Y轴、平台Z轴、X轴菱形放大机构、Y轴菱形放大机构、Z轴铰链、X轴压电陶瓷、Y轴压电陶瓷、Z轴压电陶瓷、平台动态机构、X轴静态板、Y轴静态板、X轴传感器、Y轴传感器和Z轴传感器，所述平台X轴上安装有X轴菱形放大机构，所述X轴菱形放大机构输入端过盈连接X轴压电陶瓷，所述X轴菱形放大机构输出端连接平台动态机构的Y轴解耦铰链，所述平台Y轴上安装有Y轴菱形放大机构，所述Y轴菱形放大机构输入端过盈连接Y轴压电陶瓷，所述Y轴菱形放大机构输出端连接平台动态机构的X轴解耦铰链，所述平台Z轴连接平台动态机构的中心圆环，所述平台Z轴内部设置有Z轴压电陶瓷，所述Z轴压电陶瓷前端的平台Z轴上设置有Z轴铰链，所述Z轴压电陶瓷侧面粘贴有Z轴传感器；所述平台动态机构包括中心圆环、X轴解耦铰链、Y轴解耦铰链、正方形框架、X轴挡板、Y轴挡板、X轴动态板和Y轴动态板，所述中心圆环上下两侧分别通过Y轴解耦铰链连接正方形框架，所述中心圆环左右两侧分别通过X轴解耦铰链连接正方形框架，所述正方形框架上侧安装有两个X轴挡板，所述两个X轴挡板中间安装有X轴动态板，所述两个X轴挡板上部滑动连接有X轴静态板，所述X轴静态板内侧安装有X轴传感器，所述正方形框架右侧安装有两个Y轴挡板，所述两个Y轴挡板中间安装有Y轴动态板，所述两个Y轴挡板上部滑动连接有Y轴静态板，所述Y轴静态板内侧安装有Y轴传感器。
全文数据：
权利要求：
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