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申请/专利权人：西安隆基乐叶光伏科技有限公司
摘要：本发明提供了一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池，涉及太阳能光伏技术领域。其中，该方法在对硅基底的背面进行发射极和背表面场图形化的过程中采用了一次湿法刻蚀与多次激光消融，激光消融工艺加工速度快、精度高、成本低、污染小，因此，通过减少实施操作繁琐、成本高、污染大的湿法刻蚀次数，采用激光消融能够有效简化工艺、降低成本，并提高图形化的精度，降低损伤，从而提高HBC电池的成品质量。
主权项：1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供硅基底，所述硅基底包括设置电极的背面，以及与所述背面相对的正面；在所述背面依次沉积第一钝化层和介质绝缘层；采用激光消融在所述第一钝化层和所述介质绝缘层上形成第一开口；在所述背面制备背表面场，所述背表面场包括第二钝化层和电子收集层；采用激光消融在所述电子收集层上形成第二开口，所述第二开口与所述第一开口相间隔；采用湿法刻蚀在所述第二钝化层、所述介质绝缘层和所述第一钝化层上所述第二开口的位置处形成第三开口，所述湿法刻蚀采用的刻蚀剂对所述第二钝化层、所述介质绝缘层和所述第一钝化层的刻蚀速率大于对所述电子收集层的刻蚀速率；在所述背面制备发射极，所述发射极包括第三钝化层和空穴收集层；采用激光消融在所述第三钝化层和空穴收集层上所述第一开口的位置处形成第四开口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安隆基乐叶光伏科技有限公司 太阳能电池的制备方法及太阳能电池
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