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申请/专利权人：皇家飞利浦有限公司
摘要：一种压印基板180的方法，包括：将承载压印图案106的柔性印模104固定到包括孔112的阵列的第一载体102，所述孔通过气体压力将所述柔性印模拉向第一载体或将其推开；将其推到第二载体170，第二载体170承载具有抗蚀剂层182的基板180，留下间隙190，以创建在柔性印模与基板之间的可控的接触区，和在第一载体与柔性印模之间的空间196；逐渐将柔性印模的区域推入抗蚀剂层中以对其进行压印；显影抗蚀剂层；并且通过连续的孔施加抽吸逐渐释放柔性印模，同时控制气体通过尚未被抽吸的孔向空间196的向内流动，以便此处将空间196保持高于环境但低于预定最大压力。
主权项：1.一种气动系统，用于操作被包括在针对压印装置的第一载体（102）中的气动操作孔（112）的阵列，所述第一载体用于保持具有压印图案（106）的柔性印模（104），所述气动操作孔中的每个气动操作孔能够在第一配置中操作并且能够在第二配置中操作，在所述第一配置中，保持压力被提供给所述气动操作孔以用于相对于所述第一载体保持所述柔性印模的部分，在所述第二配置中，释放压力被提供给所述气动操作孔以用于从所述第一载体释放所述柔性印模的所述部分，所述气动系统包括高压管路系统，所述高压管路系统用于向多个气动操作孔中的每个气动操作孔提供所述释放压力，所述高压管路系统被配置为：-包括气体进入开口，所述气体进入开口用于接收来自气体供应的处于供应压力处的气体；并且-包括压力调节器，所述压力调节器用于当所述气体供应被附接到所述高压管路系统时将与所述高压管路系统的区段相连接的所述孔的阵列中的一个或多个孔的所述释放压力调节到在由所述压力调节器设置的调节器压力与所述供应压力之间，同时至少暂时允许从所述气体供应沿着所述高压管路系统的所述区段朝向压力调节器的气体流。
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权利要求：
百度查询： 皇家飞利浦有限公司 气动系统、压印装置及其用途
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