龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方鸿瑞科技有限公司
摘要：本发明涉及一种向下蒸发的线性蒸发源，属于光伏镀膜技术领域，用以解决现有向下蒸发的线性蒸发源材料均匀性差、难以实现较大幅宽镀膜的需求、温度及镀膜过程难以控制、生产成本高、效率低等问题之一。本发明的线性蒸发源可以实现向下蒸发镀膜，适用于宽幅较大的基材镀膜，当材料在材料坩埚中进行加热产生蒸气，由于外坩埚为密封的结构，蒸气不能从外坩埚的上方排出，由于外坩埚下端设置有多个喷嘴，蒸气会通过导流匀气板后通过喷嘴排出，导流匀气板上设置有多个孔，可以使蒸气更加均匀的通过喷嘴排出进行镀膜。
主权项：1.一种向下蒸发的线性蒸发源，其特征在于，包括自外向内依次套设的支撑结构、外坩埚和材料坩埚，所述的外坩埚上端密封连接有外坩埚盖板，所述的外坩埚内自上而下设置有坩埚支撑板和至少一个带有多孔的导流匀气板，所述的材料坩埚放置在所述的坩埚支撑板上，所述的外坩埚和所述的支撑结构之间设置有加热器，所述的外坩埚下端设置有多个用于将蒸气喷向基材的喷嘴，所述的支撑结构底部设置有用于喷嘴伸出的开孔结构；所述的材料坩埚设置有一个或多个，所述的材料坩埚上端设置有材料坩埚导流盖板，所述的材料坩埚导流盖板上设置有多个导流孔；所述的坩埚支撑板上设置有多个孔；所述的加热器包括在垂直方向设置的上侧部加热器、下侧部加热器，设置在支撑结构盖板或外坩埚盖板上的上部加热器和设置在外坩埚底部内侧或外侧的喷嘴加热器；所述的上侧部加热器和下侧部加热器之间设置有内隔热结构，所述的上侧部加热器位于外坩埚外上部，高度方向覆盖材料坩埚高度方向所在的位置，下侧部加热器位于外坩埚的下部，覆盖外坩埚外下部过内隔热结构直到喷嘴位置；所述的线性蒸发源的加热温度≤1500℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方鸿瑞科技有限公司 一种向下蒸发的线性蒸发源
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号