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申请/专利权人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司

摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种远程等离子加工设备；包括机架、安装于机架的清洗装置以及等离子发生装置，等离子发生装置用于生产等离子体并输送至清洗装置内；等离子发生装置包括进气件、第一长点火件、第一短点火件、第二长点火件以及出气件，进气件和第一长点火件的外侧面以及第二长点火件和出气件的外侧面贴合安装有第一散热板，第一散热板包括第一板体、设置于第一板体的水冷通道以及设置于第一板体的风冷通道，水冷通道能够输入、输出液体，风冷通道能够输入、输出气体。通过设置的水冷通道以及风冷通道，构成双散热通道，从而提升散热效率，保证等离子发生装置工作更加稳定。

主权项：1.一种远程等离子加工设备，包括机架（10）；清洗装置（20），安装于机架（10）；等离子发生装置（30），用于生产等离子体并输送至清洗装置（20）内；其特征在于：所述等离子发生装置（30）包括一进气件（31），设置有进气腔（311）；一第一长点火件（32），安装于进气件（31）下方，第一长点火件（32）设置有与进气腔（311）连通的第一长点火腔（321）；两个第一短点火件（33），分别安装于第一长点火件（32）的下方左右两侧；每一第一短点火件（33）均设置有与第一长点火腔（321）连通的第一短点火腔（331）；一第二长点火件（34），安装于两个第一短点火件（33）下方；第二长点火件（34）设置有分别连通第一短点火腔（331）的第二长点火腔（341）；一出气件（35），安装于第二长点火件（34）下方；出气件（35）设置有连通第二长点火腔（341）的出气腔（351）；其中，所述进气件（31）和第一长点火件（32）的外侧面以及第二长点火件（34）和出气件（35）的外侧面贴合安装有第一散热板（36），第一散热板（36）包括第一板体（361）、设置于第一板体（361）的水冷通道以及设置于第一板体（361）的风冷通道，水冷通道能够输入、输出液体，风冷通道能够输入、输出气体；第一板体（361）的后表面为第一贴合面（3611），第一贴合面（3611）能够贴合于进气件（31）、第一长点火件（32）、第二长点火件（34）以及出气件（35）的前表面；所述第一板体（361）的前表面的左侧下方设置有第一进气孔（3612），第一进气孔（3612）与风冷通道连通；所述第一板体（361）的右侧面底部设置有第一出气孔（3613），第一出气孔（3613）与冷风通道连通；所述第一板体（361）的前表面中心下方设置有第一进水孔（3614），第一板体（361）的左侧面以及右侧面的顶部设置有第一出水孔（3615），第一进水孔（3614）与第一出水孔（3615）分别连通水冷通道；风冷通道包括有多个垂直延伸的第一风冷通道（362），各个第一风冷通道（362）从左往右间距设置，各个第一风冷通道（362）通过第二风冷通道（363）连通；水冷通道包括多个垂直延伸的第一水冷通道（364），各个水冷通道从左往右间距设置，各个第一水冷通道（364）通过第二水冷通道（365）连通，两第一水冷通道（364）位于两个第一风冷通道（362）之间；水冷通道包括迂回设置的第三水冷通道（366），所述风冷通道包括设于第三水冷通道（366）外围的第三风冷通道（367）；第三水冷通道（366）以及第三风冷通道（367）的横截面均为圆形，第三水冷通道（366）与第三风冷通道（367）同轴设置，第三水冷通道（366）的直径大于第三风冷通道（367）的直径；第一板体（361）的左侧面设置有连通第三水冷通道（366）的第一进水孔（3614）以及连通第三风冷通道（367）的第一进气孔（3612），所述第一板体（361）的右侧面设置有连通第三水冷通道（366）的第一出水孔（3615）以及连通第三风冷通道（367）的第一出气孔（3613）；还包括有第一箱体（37），第一箱体（37）底部设置有第一避让缺口（371）；第一长点火件（32）螺合连接于进气件（31）底部，第一短点火件（33）螺合连接于第一长点火件（32）底部，第二长点火件（34）螺合连接于第一短点火件（33）底部，且第二长点火件（34）固定安装于第一箱体（37）内，所述出气件（35）可拆卸安装于第二长点火件底（34）部并位于第一避让缺口（371）中；第一箱体（37）可上下移动式安装于清洗装置（20）的顶部，清洗装置（20）顶部设置有第一连接套筒（21）；所述第一箱体（37）下移时，出气件（35）的底部能够抵靠第一连接套筒（21）的顶部；第二长点火件（34）底部设置有第一导柱（342），出气件（35）的顶部设置有供第一导柱（342）插入的第一导孔（352）；当所述第一箱体（37）下移时，第一导柱（342）能够插入第一导孔（352）中，使出气件（35）固定在第二长点火件（34）与第一连接套筒（21）之间。

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