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用薄膜设备重建光波长谱 

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申请/专利权人:ams国际有限公司

摘要:一种光谱仪设备,包括:包括多个光检测器元件的基板;基板上的第一滤光器层,其中第一滤光器层包括多组滤光器堆叠,第一滤光器层中的每个滤光器堆叠包括具有交替折射率的多个介电膜;以及第一滤光器层上的第二滤光器层,其中第二滤光器层包括多组滤光器堆叠,第二滤光器层中的每个滤光器堆叠包括具有交替折射率的多个介电膜,其中第二滤光器层中的每个滤光器堆叠与第一滤光器层中对应的滤光器堆叠和对应的光检测器元件两者对准,以限定相应的光电检测器通道,并且其中每个光电检测器通道包括不同的光学透射光谱。

主权项:1.一种光谱仪设备,包括:基板,包括多个光检测器元件;第一滤光器层,在所述基板上,其中所述第一滤光器层包括多组滤光器堆叠,其中所述第一滤光器层中的每组滤光器堆叠包括多个不同的滤光器堆叠,所述第一滤光器层中的每个滤光器堆叠包括具有交替折射率的多个介电膜;以及第二滤光器层,在所述第一滤光器层上,其中所述第二滤光器层包括多组滤光器堆叠,所述第二滤光器层中的每个滤光器堆叠包括具有交替折射率的多个介电膜,其中所述第二滤光器层中的每个滤光器堆叠与所述第一滤光器层中对应的滤光器堆叠和对应的光检测器元件两者对准,以限定相应的光电检测器通道,并且其中第一滤光器层的多组滤光器堆叠中的一组滤光器堆叠内每个滤光器堆叠配置在第二滤光层中的与第一滤光器层的多组滤光器堆叠中的另一组滤光器堆叠相比不同的对应滤光器堆叠配置下方被提供,其中每个光电检测器通道包括不同的光学透射光谱。

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权利要求:

百度查询: ams国际有限公司 用薄膜设备重建光波长谱

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