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申请/专利权人：ISTEQ私人有限公司;ISTEQ集团控股有限公司
摘要：一种辐射源包含集光器模块，所述集光器模块包括位于具有发射等离子体的真空室中的光学集光器，还包括用于碎片减缓的装置，所述装置包括至少两个外壳，所述外壳布置成输出无碎片的短波长辐射的同心束，所述光束到达光学集光器，优选地由几个相同的反射镜组成。每个外壳外部都有永磁体，在所述外壳内部产生磁场，以减缓碎片颗粒的带电部分，并提供无碎片的短波长辐射同心束。还使用了其它碎片减缓技术。优选地，所述等离子体是由旋转目标组件提供到激光束聚焦区域的液体金属目标的激光产生等离子体。本发明的技术结果是产生了大功率、高亮度、无碎片的短波长辐射源，其具有大的、优选大于0.25sr的收集立体角。
主权项：1.一种具有集光器模块的等离子体短波长辐射源，包括：光学集光器，其位于真空室中，具有发射短波长辐射的等离子体，还包括用于在所述短波长辐射到达所述光学集光器的路径上的用于碎片减缓的装置，其中用于碎片减缓的所述装置包括至少两个外壳，来源于脉冲辐射等离子体区域的所述短波长辐射的无碎片同心束从所述至少两个外壳中被输出，每个外壳的外表面包含两个第一面，所述第一面沿基本上平行于来自所述等离子体的短波长辐射的传播方向延伸，并且在每个外壳外部都有永磁体，所述永磁体在外壳内部产生磁场。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ISTEQ私人有限公司 ISTEQ集团控股有限公司 具有多段式集光器模块的短波长辐射源和辐射收集方法
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