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照明用有机发光元件制造装置 

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申请/专利权人:罗提株式会社

摘要:本发明涉及一种照明用有机发光元件制造装置,其特征在于:制造照明用有机发光元件organiclightemitteddiode,OLED的制造装置中,包括:输送蒸镀部,其输送带状基材,该带状基材沿着宽度方向的两端相隔预设间隔地形成有基材通孔,从设置于多个位置的蒸镀源喷吐出气化材料,依次蒸镀,并回收贴合的阴影掩膜;轨道移动部,其分别配置在所述输送蒸镀部的蒸镀范围,且配置于下部面,以便于插入所述基材一起移动,其呈链轨状,该链轨在不同的多个蒸镀位置,将转动转化为直线运动,其外围具备插入所述基材通孔的轨道突出凸起;轨道驱动部,其配置在所述轨道移动部的横向两端,提供可转换的转动力,以使所述轨道移动部移动;张力调节部,其分别配置在所述轨道移动部的可移动的上部和下部,调节所述轨道移动部的张力;以及控制部,其与所述轨道移动部和所述张力调节部连接,控制移动和张力调节。

主权项:1.一种照明用有机发光元件制造装置,其特征在于:制造照明用有机发光元件organiclightemitteddiode,OLED的制造装置中,包括:输送蒸镀部,其输送带状基材,该带状基材沿着宽度方向的两端相隔预设间隔地形成有基材通孔,从设置于多个位置的蒸镀源喷吐出气化材料,依次蒸镀,并回收贴合的阴影掩膜;轨道移动部,其分别配置在所述输送蒸镀部的蒸镀范围,且配置于下部面,以便于插入所述基材一起移动,其呈链轨状,该链轨在不同的多个蒸镀位置,将转动转化为直线运动,其外围具备插入所述基材通孔的轨道突出凸起;轨道驱动部,其配置在所述轨道移动部的横向两端,提供可转换的转动力,以使所述轨道移动部移动;张力调节部,其分别配置在所述轨道移动部的可移动的上部和下部,调节所述轨道移动部的张力;以及控制部,其与所述轨道移动部和所述张力调节部连接,控制移动和张力调节。

全文数据:

权利要求:

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